浙江瞻芯电子科技有限公司拟投资60000万元,在义乌信息光电高新技术产业园区(苏溪区块),新建生产厂房、综合动力站、甲类仓库、氢气站、倒班宿舍等建筑,总建筑面积81750平方米。项目生产线是按照车规级芯片生产线标准进行建设,并且将是中国第一个车规级碳化硅半导体生产线,项目达产后,形成年产30万片6英寸晶圆的生产能力。
本评价项目碳化硅功率芯片和特色工艺制造项目拟建在义乌信息光电高新技术产业园区(苏溪区块),涉及的危险化学品有:盐酸(37%)、硫酸、硝酸(70%)、硝化酸混合物、过氧化氢(27%)、氢氟酸(49%)、三氯氧磷、醋酸(99%)、磷酸(85%)、氨水(29%)、异丙醇、乙醇、丙酮、亚磷酸三甲酯、硼酸三甲酯、二氯乙烯、一氧化氮、三氟化氮、三氟化磷、一氧化碳、六氟乙烷、氩气、氯气、六氟化硫、氦气、三氯化硼、硅烷、二氧化碳气体、溴化氢、三氟化硼、二氯硅烷(二氯二氢硅)、六氟化钨、三氟甲烷、氦氧混合气、液氨、一氧化二氮、六氟化钨、磷化氢、氮气、氢气、氧气、六甲基二硅胺烷、稀释剂、氢氧化钠溶液[含量≥30%]、四氟化碳、八氟化四碳、天然气(燃料)。
拟建项目生产过程中使用到的TMAH(显影液,2.38%四甲基氢氧化铵、97.62%水)、光刻胶(酚醛树脂90%,10%丙二醇甲醚醋酸酯混合物)、BOE(缓冲氧化物刻蚀液,49%氢氟酸和40%氟化铵的混合物)、EKC270(蚀刻后残留物去除液,乙醇胺、异丙醇胺、羟胺邻苯二酚等混合物)也应纳入危险化学品管理。
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